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发明名称
Process for refining nitrogen trifluoride gas using alkali earth metal impregnated zeolite 4A
摘要
申请公布号
KR100577957(B1)
申请公布日期
2006.05.10
申请号
KR20040053045
申请日期
2004.07.08
申请人
发明人
分类号
B01D53/02
主分类号
B01D53/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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