| 发明名称 | 缺陷检测及分类系统的数据分析方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种缺陷检测及分类系统的数据分析方法，其包含有从该缺陷检测及分类系统中撷取多个原始数据，依据一预定筛选条件来分离该多个原始数据以产生一分类数据，以及使用一预定统计方法来分析该分类数据。 | ||
| 申请公布号 | CN1770417A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200410089715.5 | 申请日期 | 2004.11.02 |
| 申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 戴鸿恩;罗皓觉 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 蒲迈文;黄小临 |
| 主权项 | 1.一种缺陷检测及分类系统的数据分析方法，其包含有：(a)从该缺陷检测及分类系统中撷取多个原始数据；(b)依据一预定筛选条件来分离该多个原始数据以产生一分类数据；以及(c)使用一预定统计方法来分析该分类数据。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||