| 发明名称 | 在清洁模块之间垂直传送半导体基板的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板搬运器，至少包含一可沿一第一运动轴定位的滑架；一第一基板抓持器，其连接至该滑架而且可相对于该滑架沿一实质上垂直该第一运动轴的第二运动轴定位；及一第二基板抓持器，其连接至该滑架而且可相对于该滑架沿一实质上平行于该第二运动轴的第三运动轴定位，其中该第二抓持器可相对于该第一抓持器独立地移动。 | ||
| 申请公布号 | CN1771580A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200480009356.6 | 申请日期 | 2004.03.31 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 尤尼斯·阿克契尔;丹·马罗;拉克什曼恩·卡鲁平 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
| 主权项 | 1.一种基板搬运器，至少包含：一定位构件，其用于沿一第一运动轴定位一第一与第二基板抓持构件；第一抓持构件，其连接至所述定位构件且可沿一实质上垂直所述第一运动轴的第二运动轴定位；及第二抓持构件，其连接至所述定位构件且可沿一实质上平行所述第二运动轴的第三运动轴定位，其中所述第二抓持构件可相对于所述第一抓持构件独立地移动，其中所述第一与第二抓持构件在一实质上垂直所述第一与第二运动轴的方向具有一基板抓持动作。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||