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发明名称 ELECTRODE COATER BY USING ULTRASONIC SPRAY AND IT'S SUBSIDIARY EQUIPMENTS
摘要
申请公布号 KR20060040266(A) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20040089548 申请日期 2004.11.05
申请人 KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 发明人 LEE, SUNG IL
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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