发明名称 WAFER TRANSFER ARM FOR WAFER LAVELING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060040125(A) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20040089348 申请日期 2004.11.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEANG, SIL GUN
分类号 H01L23/544;H01L21/68 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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