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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING PARTICLES
摘要
申请公布号 KR20060039979(A) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20040089132 申请日期 2004.11.04
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, GYUNG SU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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