| 发明名称 | 微器件表面形貌的微、纳米测量装置 | ||
| 摘要 | 微器件表面形貌的微、纳米测量装置，其特征是采用集成化的光学读取头，以光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，针对激光二极管设置功率控制电路，在光学读取头的四象限电压信号A、B、C、D输出端设置四象限信号放大运算电路，所得(A+C)－(B+D)失焦信号经DSP信号处理接入驱动电路，驱动电路的驱动信号接入光学读取头的音圈马达信号输入端。本实用新型利用已有的光学读取头器件，获得了低成本、高精度的微器件表面形貌的微、纳米测量装置。 | ||
| 申请公布号 | CN2779383Y | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200520069706.X | 申请日期 | 2005.03.07 |
| 申请人 | 合肥工业大学 | 发明人 | 范光照;陈叶金;赵静;刘玉圣 |
| 分类号 | G01N13/00(2006.01);G01N21/00(2006.01) | 主分类号 | G01N13/00(2006.01) |
| 代理机构 | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人 | 何梅生 |
| 主权项 | 1、微器件表面形貌的微、纳米测量装置，其特征是采用集成化的光学读取头，以光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，针对激光二极管设置功率控制电路，在所述光学读取头的四象限电压信号(A、B、C、D)输出端设置四象限信号放大运算电路，所得(A+C)-(B+D)失焦信号经DSP信号处理电路接入驱动电路，所述驱动电路的驱动信号接入光学读取头的音圈马达信号输入端。 | ||
| 地址 | 230009安徽省合肥市屯溪路193号 | ||