| 发明名称 |
HOLDER FOR SUPPORTING WAFERS DURING SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1654752(A2) |
申请公布日期 |
2006.05.10 |
| 申请号 |
EP20040779748 |
申请日期 |
2004.08.02 |
| 申请人 |
SGL CARBON AG |
发明人 |
LAMPE, MICHAEL;MOON, BURL |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/458;C30B25/12;H01L;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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