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发明名称 Reactive mangnetron sputtering method
摘要
申请公布号 EP1462538(B1) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 EP20040003122 申请日期 2004.02.12
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 GOEDICKE, KLAUS;FIETZKE, FRED, DR.;KLOSTERMANN, HEIDRUN, DR.;WUENSCHE, TILO, DR.
分类号 C23C14/00;C23C14/35;C23C14/50 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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