利用倒装焊技术制作氮化镓基激光器管芯的方法

摘要

一种利用倒装焊技术制作氮化镓基激光器管芯的方法，包括：在衬底上依次外延生长电极接触层，光限制层，波导层，发光有源区，波导层，光限制层和电极接触层；刻蚀电极接触层，制备P型欧姆接触电极；将衬底减薄；将激光器管芯分割；利用倒装焊技术将分割好的氮化镓基激光器管芯的P型欧姆接触电极层和支撑体上与管芯P电极大小相对应的金属焊料层以及管芯的N型欧姆接触电极层和支撑体上与管芯N电极大小相对应的金属焊料层焊接在一起；在管芯P电极的相应位置，从支撑体的背面开孔直到二氧化硅或氮化硅等绝缘隔离层，形成P型电极引出孔；在开孔后的支撑体的背面蒸镀金属层，引出管芯的P型电极，形成一个倒装的氮化镓基激光器的管芯。

主权项

1、一种利用倒装焊技术制作氮化镓基激光器管芯的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在绝缘衬底上依次外延生长氮化镓N型电极接触层，N型铝镓氮光限制层，N型氮化镓波导层，发光有源区，P型氮化镓波导层，P型铝镓氮光限制层和P型氮化镓电极接触层；步骤2：利用离子束刻蚀技术将N型电极接触区和分割道区域刻蚀至N型氮化镓电极接触层，然后在其表面沉积绝缘薄膜，并形成P型和N型欧姆接触电极孔，在管芯的P型氮化镓电极接触层上制备P型欧姆接触电极，在N型氮化镓电极接触层上制备N型欧姆接触电极；步骤3：将蓝宝石衬底减薄；步骤4：将激光器管芯分割，形成具有腔面和一定腔长的单个激光器的管芯；步骤5：在支撑体上沉积二氧化硅或氮化硅绝缘隔离层，然后蒸镀与管芯P型和N型电极相对应的金属焊料层和；将支撑体分割成单个激光器管芯的支撑体；步骤6：利用倒装焊技术将分割好的氮化镓基激光器管芯的P型欧姆接触电极层和支撑体上与管芯P电极大小相对应的金属焊料层以及管芯的N型欧姆接触电极层和支撑体上与管芯N电极大小相对应的金属焊料层焊接在一起；步骤7：在管芯P电极的相应位置，从支撑体的背面开孔直到二氧化硅或氮化硅等绝缘隔离层，将孔底部的二氧化硅或氮化硅等绝缘隔离层去掉，形成P型电极引出孔；步骤8：在开孔后的支撑体的背面蒸镀金属层，引出管芯的P型电极，形成一个倒装的氮化镓基激光器的管芯。