发明名称 流体喷射装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种流体喷射装置及其制造方法,其中流体喷射装置包括一基材具有一基底、一第一结构层、一流体腔以及一通道。至少一气泡产生装置,设置于第一结构层上且于流体腔的相对侧。一第一保护层,形成于第一结构层上,覆盖气泡产生装置。一第二结构层,位于第一保护层上。一第二保护层,顺应性地形成于第二结构层上。以及一喷孔,邻近气泡产生装置且穿透第二保护层、第二结构层、第一保护层与第一结构层,且与流体腔连通。其中,喷孔的内壁由第一结构层、第一保护层及第二保护层所构成。
申请公布号 CN1769050A 申请公布日期 2006.05.10
申请号 CN200410089778.0 申请日期 2004.11.04
申请人 明基电通股份有限公司 发明人 陈苇霖;胡宏盛;徐德荣
分类号 B41J2/05(2006.01);G03F7/20(2006.01);B05B1/00(2006.01) 主分类号 B41J2/05(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种流体喷射装置,包括:一基材,包括:一基底;一第一结构层,设置在该基底上;一流体腔,形成该结构层与该基底之间;以及一通道,连接该流体腔;至少一气泡产生装置,设置于该结构层上且于该流体腔的相对侧;一第一保护层,形成于该第一结构层上,覆盖该气泡产生装置;一第二结构层,位于该第一保护层上;一第二保护层,顺应性地形成于该第二结构层上;以及一喷孔,邻近该气泡产生装置且穿透该第二保护层、该第二结构层、该第一保护层与该第一结构层,且与该流体腔连通;其中,该喷孔的内壁由该第一结构层、该第一保护层及该第二保护层所构成。
地址 台湾省桃园县