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发明名称
摘要
申请公布号 JP3774094(B2) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 JP19990343385 申请日期 1999.12.02
申请人 发明人
分类号 G01B9/02;H01L21/66;G01B11/06;G01B11/22;G01J5/00;G01J5/02;G01J5/06;G01R31/26;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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