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发明名称
PROCESS CHAMBER OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE HAVING WAFER-CHUCK GUIDE PLATE
摘要
申请公布号
KR20060040399(A)
申请公布日期
2006.05.10
申请号
KR20040089977
申请日期
2004.11.05
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, JONG HO
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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