半导体机器的晶片载台清洁夹具

摘要

一种半导体机器的晶片载台清洁夹具，其主要包括：一本体部、一驱动装置、一电源供应装置，以及由一旋转基、一弹性元件及一清洁转盘所组成的清洁模块，其中，本体部可自由调整长短，且于本体部前端具有一容置空间，而驱动装置设于容置空间内，可提供一动力，电源供应装置耦接于驱动装置，用以提供驱动装置电力来源，旋转基座设于靠近该驱动装置之侧，并藉由弹性元件连接清洁转盘，由驱动装置提供动力，使清洁转盘旋转以清除半导体机器的晶片载台的杂质，且可视不同清洁需求更换清洁转盘的大小或材料。

主权项

1.一种半导体机器的晶片载台清洁夹具，该清洁夹具至少包括有：一本体部，具有相对应设置的一清洁模块端与一握持端，且该清洁模块端还具有一容置空间；一驱动装置，设于该本体部容置空间内；一电源供应装置设于该本体部内，并耦接于该驱动装置；一清洁模块位于该本体部的该清洁模块端，并连接于该驱动装置。