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经营范围
发明名称
PROCESS CONTROL SYSTEM OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR20060040398(A)
申请公布日期
2006.05.10
申请号
KR20040089976
申请日期
2004.11.05
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
YANG, YOUNG NAM
分类号
G05B19/418
主分类号
G05B19/418
代理机构
代理人
主权项
地址
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