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"MéTODO DE FABRICAR PRé-ESTRUTURA PARA SISTEMAS MEMS". Um método de fabricar um elemento modulador interferométrico inclui a formação de pela menos duas hastes, como as hastes formadas de spin-on glass, em um substrato. Em modalidades alternativas, as hastes podem ser formadas após certas camadas dos elementos moduladores terem sido depositadas no substrato. Um elemento modulador interferométrico inclui pelo menos duas hastes de suporte de spin-on glass localizadas no substrato. Em modalidades alternativas, as hastes de suporte podem ser localizadas sobre certas camadas do elemento modulador, em vez de no substrato. Um método de fabricar um elemento modulador interferométrico inclui a formação de uma tampa rígida sobre uma haste de suporte. Um elemento modulador interferométrico inclui hastes de suporte tendo elementos de tampa rígidos.
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