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发明名称 VACUUM EQUIPMENT FOR PLASMA CHAMBER OF ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICES
摘要
申请公布号 KR20060039877(A) 申请公布日期 2006.05.09
申请号 KR20060021035 申请日期 2006.03.06
申请人 DIGITAL OPTICS & VACUUM CO., LTD. 发明人 YOUN, KEUN CHUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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