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"MéTODOS PARA FABRICAçãO DE MODULADORES INTERFEROMéTRICOS POR REMOçãO SELETIVA DE UM MATERIAL". Métodos para produção de dispositivos MEMS, tais como moduladores interferométricos, envolvem a remoção seletiva de uma porção de sacrifício de um material, para formar uma cavidade interna, deixando ficar uma porção remanescente do material, para formar uma estrutura de haste. O material pode ser depositado como cobertura e alterado seletivamente, para definir as porções de sacrifício, que são removíveis seletivamente relativas às porções remanescentes. Alternativamente, uma camada de material pode ser removida lateralmente das aberturas em uma camada de cobertura. Esses métodos podem ser usados para produzir moduladores interferométricos não liberados e liberados.
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