| 摘要 |
"SISTEMA E MéTODO PARA DISPOSITIVO DE DISPLAY COM DESSECANTE ATIVADO". Um pacote de dispositivo MEMS (70) compreende um substrato (72) com um dispositivo MEMS (76) formado no mesmo, uma placa de apoio (74), uma vedação (78) e um dessecante inativo (80) dentro da embalagem. O dessecante (80) é ativado após a montagem da embalagem pela exposição a uma mudança ambiental ou uma substância de ativação. Um método de fabricação de um dispositivo MEMS compreende a ativação de um dessecante e o contato de um substrato com o dispositivo MEMS formado no mesmo, uma vedação e uma placa de apoio, onde o dessecante é disposto no substrato ou na placa de apoio.
|
