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"MéTODO E SISTEMA PARA CORROSãO POR FLUORETO DE XENÈNIO COM EFICIêNCIA APERFEIçOADA". São providos nesta invenção um equipamento e um método útil para fabricação de dispositivos MEMS. Um aspecto do equipamento descrito provê um substrato compreendendo um material que pode ser corroído exposto a um decapante em estado sólido, em que o substrato e o decapante em estado sólido são dispostos em uma câmara de corrosão. Em algumas modalidades, o decapante em estado sólido é movido para proximidade contígua do substrato. Em outras modalidades, uma partição configurável entre o substrato e o decapante em estado sólido está aberta. O decapante em estado sólido forma um decapante em fase gasosa adequado para corroer o material que pode ser corroído. Em algumas modalidades preferidas, o decapante em estado sólido é difluoreto de xenónio sólido. O equipamento e o método são vantajosamente usados na realização de uma corrosão de liberação na fabricação de moduladores ópticos.
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