发明名称 A method for forming a gate electrode of a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100576448(B1) 申请公布日期 2006.05.08
申请号 KR20030098716 申请日期 2003.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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