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发明名称
APPARATUS FOR GUIDING LOCATION OF NOZZLE AND SPIN COATER FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060039078(A)
申请公布日期
2006.05.08
申请号
KR20040088119
申请日期
2004.11.02
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIN, GILL HOON
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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