发明名称 BRUSH USED IN CLEANING SEMICONDUCTOR WAFER, BRUSH ASSEMBLY WITH THE BRUSH, AND METHOD FOR WETTING THE BRUSH
摘要
申请公布号 KR20060039297(A) 申请公布日期 2006.05.08
申请号 KR20040088434 申请日期 2004.11.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YONG DUCK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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