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发明名称
Metal Line for semiconductor devices and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号
KR100577557(B1)
申请公布日期
2006.05.08
申请号
KR19990021503
申请日期
1999.06.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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