发明名称 APPARATUS FOR DRYING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR20060039273(A) 申请公布日期 2006.05.08
申请号 KR20040088384 申请日期 2004.11.02
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;PARK, SANG KYU
分类号 H01J9/24 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
主权项
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