发明名称 STRUCTURE D'INTERCONNEXION A FAIBLE CONSTANTE DIELECTRIQUE
摘要
申请公布号 FR2859822(B1) 申请公布日期 2006.05.05
申请号 FR20030050547 申请日期 2003.09.16
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 LOUIS DIDIER
分类号 H01L23/538;H01L21/48;H01L21/768 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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