发明名称 Methods of making an integrated waveguide photodetector
摘要 An integrated waveguide and photodetector which are evanescently coupled, and methods of making such integrated waveguide and photodetector.
申请公布号 US2006093967(A1) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 US20050303587 申请日期 2005.12.15
申请人 BLOCK BRUCE A 发明人 BLOCK BRUCE A.
分类号 G03C5/00;G02B6/12;G02B6/42;G03F7/26 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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