Verfahren und Anordnung zur elektrischen Ermittlung der Dicke von Halbleitermembranen durch Energieeintrag

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Ermittlung der Dicken von Halbleitermembranen mittels elektrischer Messungen. Dabei wird definiert Energie in die Membran eingekoppelt und aus der Verteilung/Ausbreitung der Energie auf die Membrandicke geschlossen, indem die Zustandsveränderungen der Membran durch Messungen der elektrischen Leitfähigkeit mittels auf der Membran befindlicher Messwiderstände verfolgt wird. Die elektrische Leitfähigkeit verändert sich durch die Temperatur und die mechanische Verspannung der Membran, die beide von der Dicke der Membran abhängen.