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发明名称 Substrateneinschleusenvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60026476(D1) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 DE20006026476 申请日期 2000.12.21
申请人 OXFORD INSTRUMENTS PLASMA TECHNOLOGY LTD.;UNIVERSITAET KASSEL 发明人 CROAD, ROGER J. W.;GOODYEAR, ANDREW L.;RANGELOW, IVAYLO W.;VOLLAND, BURKHARD
分类号 H01L21/00;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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