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发明名称 SEM BAR AND METHOD FOR MEASURING THE CD SIZE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060038774(A) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 KR20040087912 申请日期 2004.11.01
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MUN, JUN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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