Vorrichtung zur Wafer-Inspektion,申请号DE20031024474-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Vorrichtung zur Wafer-Inspektion
摘要
申请公布号	DE10324474(B4)	申请公布日期	2006.05.04
申请号	DE20031024474	申请日期	2003.05.30
申请人	LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH	发明人	KREH, ALBERT;BACKHAUSS, HENNING
分类号	G01N21/95;G01N21/21;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66	主分类号	G01N21/95
代理机构		代理人
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