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发明名称 VERFAHREN UND SYSTEM ZUR REGELUNG DER NACHPOLIERDAUER UND/ODER DER POLIERDAUER IN DER ENDBEARBEITUNG BEIM CHEMISCH MECHANISCHEN POLIEREN
摘要
申请公布号 DE60206660(T2) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 DE20026006660T 申请日期 2002.12.20
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 WOLLSTEIN, DIRK;RAEBIGER, JAN;MARXSEN, GERD
分类号 B24B49/03;B24B37/04 主分类号 B24B49/03
代理机构 代理人
主权项
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