发明名称 Verfahren zum Einringen von Durchbrechungen in eine Schablone oder Maske
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einbringen von Durchbrechungen (1) in eine Druckschablone. Die Druckschablone ist hierzu mittels eines Spannrahmens fixiert. Eine örtliche Verlagerung von Durchbrechungen (1) aufgrund nachfolgender Bearbeitungsschritte, die zu einem veränderten Spannungszustand des Substrates (2) führen, wird dabei vermieden, indem zunächst die Koordinaten eines zentralen Bezugspunktes (4) bestimmt werden. Der jeweilige Abstand (a) der vorbestimmten Positionen der Durchbrechungen (1) von diesem Bezugspunkt (4) wird anschließend bestimmt und daraus eine Rangfolge (5) gebildet. Diese Rangfolge (5) bildet dann die Grundlage für ein Bearbeitungsprogramm (6), durch welches die Bewegungsbahn des Laserkopfes gesteuert und die Durchbrechungen (1) in die Druckschablone eingebracht werden.
申请公布号 DE102004036662(B3) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 DE20041036662 申请日期 2004.07.28
申请人 LPKF LASER & ELECTRONICS AG 发明人 WENKE, STEPHAN
分类号 H05K3/12;B23K26/02;B41C1/14;H01L21/48;H01L23/15;H01L33/00 主分类号 H05K3/12
代理机构 代理人
主权项
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