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经营范围
发明名称
DEVELOPEMENT APPARATUS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060038738(A)
申请公布日期
2006.05.04
申请号
KR20040087866
申请日期
2004.11.01
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, YOU SIC
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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