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发明名称 Lithographischer Projektionsapparat
摘要
申请公布号 DE60020638(T2) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 DE20006020638T 申请日期 2000.04.14
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., VELDHOVEN 发明人 SEGERS, HUBERT MARIE;BOON, RUDOLF MARIA;BIJNAGTE, ANTON ADRIAAN;JACOBS, FRANCISCUS MATHIJS
分类号 G03F1/14;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人
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