| 发明名称 |
Substrat für eine Elektronenquelle |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69930219(D1) |
申请公布日期 |
2006.05.04 |
| 申请号 |
DE19996030219 |
申请日期 |
1999.11.17 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
KOBAYASHI, TAMAKI;SHIBATA, MASAAKI |
| 分类号 |
H01J1/316;C23C16/40;H01J9/02;H01J29/04;H01J31/12 |
主分类号 |
H01J1/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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