发明名称 TEST PATTERN FOR ABNORMAL PATTERNING DETCTION AND ABNORMAL PATTERNING DETECTING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060038617(A) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 KR20040087713 申请日期 2004.10.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JEON, JE HA
分类号 H01L21/66;H01L21/76;H01L23/544 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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