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经营范围
发明名称
Kontaminationsschutz mit ausdehnbaren Lamellen
摘要
申请公布号
DE60303882(D1)
申请公布日期
2006.05.04
申请号
DE20036003882
申请日期
2003.12.23
申请人
ASML NETHERLANDS B.V., VELDHOVEN
发明人
BAKKER, LEVINUS PIETER;DIERICHS, MARCEL MATHIJS THEODORE MARIE;FRERIKS, JOHANNES MARIA;SCHUURMANS, FRANK JEROEN PIETER;VIJFVINKEL, JAKOB;BOX, WILHELMUS JOSEPHUS
分类号
G03F7/20;G21K1/00;G21K3/00;G21K5/00;G21K5/02;H01L21/027;H05G2/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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