发明名称 Kontaminationsschutz mit ausdehnbaren Lamellen
摘要
申请公布号 DE60303882(D1) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 DE20036003882 申请日期 2003.12.23
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., VELDHOVEN 发明人 BAKKER, LEVINUS PIETER;DIERICHS, MARCEL MATHIJS THEODORE MARIE;FRERIKS, JOHANNES MARIA;SCHUURMANS, FRANK JEROEN PIETER;VIJFVINKEL, JAKOB;BOX, WILHELMUS JOSEPHUS
分类号 G03F7/20;G21K1/00;G21K3/00;G21K5/00;G21K5/02;H01L21/027;H05G2/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址