| 发明名称 |
GAS REINIGER AUF GETTER BASIS, SEINER VERWENDUNGEN IN EINEM HALBLEITER-PRODUKTIONSSYSTEM UND IN EINEM VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERSCHALTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM SCHUTZEN EINER GETTER KOLONNE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69830247(T2) |
申请公布日期 |
2006.05.04 |
| 申请号 |
DE1998630247T |
申请日期 |
1998.10.02 |
| 申请人 |
SAES PURE GAS, INC. |
发明人 |
LORIMER, H.;APPLEGARTH, H. |
| 分类号 |
B01D53/04;B01D53/30;B01D53/34;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
B01D53/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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