发明名称 镜面、镜面单元和光开关
摘要 本发明公开了一种镜面、镜面单元和光开关。这种具有可变角度的反射表面的MEMS镜面设有反射率低于中心部分反射率的部分。该部分设置在MEMS镜面的预定侧的至少部分端部中。结果,在MEMS镜面的角度变化时,可以减小端表面所反射的光的衍射影响。
申请公布号 CN1766694A 申请公布日期 2006.05.03
申请号 CN200510007471.6 申请日期 2005.02.22
申请人 富士通株式会社 发明人 青田宏史;赤司保
分类号 G02B26/08(2006.01) 主分类号 G02B26/08(2006.01)
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 赵淑萍
主权项 1.一种具有可变角度的反射表面的镜面,包括:中心部分,和设置在所述镜面的预定端的端部,其中所述端部的反射率低于所述中心部分的反射率。
地址 日本神奈川县