发明名称 | 镜面、镜面单元和光开关 | ||
摘要 | 本发明公开了一种镜面、镜面单元和光开关。这种具有可变角度的反射表面的MEMS镜面设有反射率低于中心部分反射率的部分。该部分设置在MEMS镜面的预定侧的至少部分端部中。结果,在MEMS镜面的角度变化时,可以减小端表面所反射的光的衍射影响。 | ||
申请公布号 | CN1766694A | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
申请号 | CN200510007471.6 | 申请日期 | 2005.02.22 |
申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 青田宏史;赤司保 |
分类号 | G02B26/08(2006.01) | 主分类号 | G02B26/08(2006.01) |
代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵淑萍 |
主权项 | 1.一种具有可变角度的反射表面的镜面,包括:中心部分,和设置在所述镜面的预定端的端部,其中所述端部的反射率低于所述中心部分的反射率。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |