| 发明名称 |
SUSCEPTOR WITH EPITAXIAL GROWTH CONTROL DEVICES AND EPITAXIAL REACTOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1423558(B1) |
申请公布日期 |
2006.05.03 |
| 申请号 |
EP20020777038 |
申请日期 |
2002.09.05 |
| 申请人 |
LPE SPA |
发明人 |
PRETI, FRANCO;YARLAGGADDA, SRINIVAS |
| 分类号 |
C23C16/455;C30B25/12;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/683 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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