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发明名称 Apparatus for opening and closing a door for semiconductor processing chamber
摘要
申请公布号 KR200415562(Y1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 KR20060003980U 申请日期 2006.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/67 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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