| 发明名称 | 微电机元件以及制造方法 | ||
| 摘要 | 一种制造微电机元件的方法，包括：提供衬底(110)；在衬底上形成第一构造层(130)；在第一构造层上形成牺牲层(140)；在牺牲层上形成第二构造层(150)；对第二构造层构造图案；用第一液体蚀刻牺牲层；用第二液体置换第一液体，第一液体可与第二液体互溶；在置换第一液体之后将第二构造层暴露于第三液体，其中第三液体置换第二液体，第二液体可互溶于第三液体中；在将第二构造层暴露于第三液体之后，用二氧化碳超临界干燥第一和第二构造层，其中二氧化碳置换第三液体，第三液体是无机的并且可互溶于二氧化碳。 | ||
| 申请公布号 | CN1254432C | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
| 申请号 | CN01816888.4 | 申请日期 | 2001.10.04 |
| 申请人 | 自由度半导体公司 | 发明人 | 乔纳森·F·格莱尔;格丹拿·S·尼尔森 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01);B81B3/00(2006.01) | 主分类号 | B81C1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种制造微电机元件的方法，包括：提供衬底；在衬底上形成第一构造层；在第一构造层上形成牺牲层；在牺牲层上形成第二构造层；对第二构造层构造图案；用第一液体蚀刻牺牲层；用第二液体置换第一液体，第一液体可与第二液体互溶；在置换第一液体之后将第二构造层暴露于第三液体，其中第三液体置换第二液体，第二液体可互溶于第三液体中；在将第二构造层暴露于第三液体之后，用二氧化碳超临界干燥第一和第二构造层，其中二氧化碳置换第三液体，第三液体是无机的并且可互溶于二氧化碳。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯 | ||