| 发明名称 |
Method for manufacturing a semiconductor material integrated microactuator, in particular for a hard disc mobile read/write head, and a microactuator obtained thereby |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0913921(B1) |
申请公布日期 |
2006.05.03 |
| 申请号 |
EP19970830556 |
申请日期 |
1997.10.29 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
FERRARI, PAOLO;VIGNA, BENEDETTO |
| 分类号 |
B62D57/00;H02N1/00;B81B5/00;B81C3/00 |
主分类号 |
B62D57/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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