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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING AND THEN BONDING SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP1297561(B1)
申请公布日期
2006.05.03
申请号
EP20010960351
申请日期
2001.06.21
申请人
SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
发明人
EHRKE, HANS-ULRICH;GABRIEL, MARKUS;BUTTINGER, RICHARD
分类号
H01L21/00;H01L21/304;H01L21/02;H01L21/18
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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