发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CLEANING AND THEN BONDING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1297561(B1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20010960351 申请日期 2001.06.21
申请人 SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH 发明人 EHRKE, HANS-ULRICH;GABRIEL, MARKUS;BUTTINGER, RICHARD
分类号 H01L21/00;H01L21/304;H01L21/02;H01L21/18 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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