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发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR FOCUSING DETECTION IN AN OPTICAL MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP1651993(A2) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20040742211 申请日期 2004.08.06
申请人 WALLAC OY 发明人 NEUVONEN, TEPPO
分类号 G01B;G02B;G02B7/04;G02B21/24;G02B27/40;(IPC1-7):G02B21/24 主分类号 G01B
代理机构 代理人
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