微型移动装置及其制作方法

摘要

一种微型移动装置，在单晶硅衬底上配置有可沿平行于晶片表面移动的活动部件(活动杆46、活动梳状电极49等)和固定部件(固定部件40a等)。固定部件通过夹在中间的绝缘层62固定在单晶硅衬底61上，在未形成固定部件的单晶硅衬底61的表面区域中形成凹陷64，活动部件位于凹陷64的上方。凹陷64形成足够大的间隙50，从而防止由外来物质造成的诸如活动部件故障和短路这样的问题。

主权项

1.一种微型移动装置，其包括在单晶硅衬底上设置的可平行于所述单晶硅衬底表面移动的活动部件，以及固定部件，其中：所述固定部件通过夹在中间的绝缘层固定在所述单晶硅衬底上；并且在未形成所述固定部件的所述单晶硅衬底的表面区域中形成凹陷，所述活动部件配置在所述凹陷的上方。