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发明名称 METHOD FOR MAKING A STRESSED STRUCTURE DESIGNED TO BE DISSOCIATED
摘要
申请公布号 EP1570516(B1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20030815088 申请日期 2003.12.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL, FRANCK;MORICEAU, HUBERT;LAGAHE, CHRISTELLE
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/304 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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