| 发明名称 | 一种三自由度精密定位平台 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及用于精密加工、集成半导体制造、生物医药加工、光学及图像对准领域的运动平台，特别是一种三自由度精密定位平台。下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮Y向驱动凸轮完全紧密地接触藉由上述结构主要解决现有的产品需要通过三层运动的叠加才能实现，整个平台将占用较大的空间尺寸，同时运动的叠加很容易产生运动位置的累计误差的技术问题，实现纳米级高精度精确位置定位。 | ||
| 申请公布号 | CN2777335Y | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
| 申请号 | CN200520040479.8 | 申请日期 | 2005.03.29 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 朱岳彬 |
| 分类号 | F16M11/00(2006.01);F16M11/20(2006.01) | 主分类号 | F16M11/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 王敏杰 |
| 主权项 | 1、一种三自由度精密定位平台，其特征在于：下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮、Y向驱动凸轮完全紧密地接触。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张东路1525号 | ||