发明名称 ACETYLENIC DIOL SURFACTANT SOLUTIONS AND METHODS OF USING SAME
摘要
申请公布号 KR20060037292(A) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 KR20060023837 申请日期 2006.03.15
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ZHANG PENG;CURZI DANIELLE MEGAN KING;KARWACKI EUGENE JOSEPH JR.;BARBER LESLIE COX
分类号 G03F7/11;G03F7/26;B01F17/00;B01F17/42;C09K3/00;C11D1/72;G03F7/004;G03F7/16;G03F7/32;G03F7/38;H01L21/027 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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